GEMÜ C53 – Válvula de Globo

Válvula de regulación para aplicaciones de alta pureza en la industria de semiconductores
Actuador lineal de alta resolución con motor paso a paso
Válvula de globo de diafragma basada en la serie iComLine
Tecnología plug diaphragm de eficacia probada
Todas las piezas que están en contacto con el fluido son de PFA o PTFE
1 millón de ciclos de funcionamiento de regulación cualificados
Fabricación en sala blanca (versión HP), cumple la especificación SEMI F 57

LOGO GEMU

Descripción

La válvula de globo de diafragma de 2/2 vías GEMÜ C53 iComLine ha sido desarrollada para aplicaciones exigentes y precisas de regulación en la producción de semiconductores. El principio de estanqueidad de la válvula se basa en la tecnología PD de eficacia probada de GEMÜ, con la que el actuador y el fluido se separan por medio de un cono de regulación de PTFE. Puesto que el contorno del cono de regulación, la carrera del actuador y los tamaños de conexión se pueden adaptar de acuerdo con las especificaciones del cliente, la GEMÜ C53 iComLine cumple casi todos los requisitos de regulación y de caudal de la industria altamente tecnológica de los semiconductores. Gracias a la combinación del preciso motor paso a paso y materiales de cuerpo de alta pureza, la válvula resulta apropiada especialmente para procesos de litografía, de pulido químico-mecánico y de mordentado, así como para aplicaciones en el ámbito de análisis en la producción de cualquier semiconductor.

Tipo de conexión: PrimeLock®; Super 300 tipo Pillar®; Tuerca tipo Flare
Tipo de actuador: eléctrico
Material de la junta
Material del cuerpo: PFA; PTFE TFM™
Presión de trabajo máx.: 6 bar
Temperatura del fluido máx.: 150 °C
Temperatura del fluido mín.: 10 °C
Diámetros nominales: DN 8 (1/4”); DN 10 (3/8”); DN 15 (1/2”); DN 20 (3/4”)

Marca

Gemü

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Ficha Técnica

Modelo Descarga
GEMÜ C53 Descarga

Instrucciones

Modelo Descarga
Operation Manual Descarga